Voici comment fonctionne généralement une pompe à vide électronique :
Pompage par faisceau d'électrons :
1. Pistolet à électrons :Un canon à électrons génère un faisceau focalisé d'électrons de haute énergie.
2. Chambre à vide :Le faisceau d'électrons est dirigé dans une chambre à vide contenant le gaz ou la vapeur à évacuer.
3. Collision :Lorsque le faisceau d'électrons interagit avec les particules de gaz, il leur transfère son énergie cinétique, les faisant se déplacer rapidement et entrer en collision les unes avec les autres.
4. Ionisation :Lors de collisions, certaines particules de gaz peuvent s'ioniser, perdre des électrons et créer des ions chargés positivement.
5. Extraction :Ces ions sont ensuite attirés vers des électrodes ou des surfaces chargées négativement à l'intérieur de la chambre à vide et sont éloignés du gaz, les éliminant ainsi efficacement du système.
Pompage du piège à ions :
1. Source d'ions :Une source d'ions, généralement un faisceau d'électrons ou un plasma, génère des ions à l'intérieur de la chambre à vide.
2. Champs électromagnétiques :La pompe à vide utilise des champs électromagnétiques (souvent un spectromètre de masse quadripolaire) pour piéger et confiner les ions générés dans une région spécifique.
3. Suppression sélective :La pompe peut éliminer sélectivement des espèces de gaz ou des ions spécifiques en ajustant les champs électromagnétiques ou en appliquant une tension. Cela permet une filtration et une purification sélectives des gaz.
4. Action de pompage :Au fur et à mesure que les ions sont confinés et accumulés dans le piège, la pression du gaz à l'intérieur de la chambre à vide diminue, créant un vide poussé.
Les pompes à vide électroniques sont largement utilisées dans diverses applications scientifiques, industrielles et de recherche où un vide propre, sans huile et souvent de haute qualité est requis. Elles sont particulièrement avantageuses dans les systèmes à ultra-vide (UHV) où les pompes à vide conventionnelles peuvent introduire des contaminants et entraver le niveau de vide souhaité.
Les pompes à vide électroniques offrent plusieurs avantages, tels que :
1. Fonctionnement propre et sans huile :Ils ne nécessitent pas de lubrifiants ni de matériaux d'étanchéité, éliminant ainsi le risque de reflux d'huile ou de contamination du système de vide.
2. Fonctionnement silencieux :Les pompes à vide électroniques sont généralement beaucoup plus silencieuses que les pompes mécaniques car elles n'impliquent pas de pièces mobiles et ne génèrent pas de vibrations excessives.
3. Compact et léger :Les pompes à vide électroniques sont souvent plus compactes et légères que les pompes mécaniques traditionnelles, ce qui les rend adaptées aux applications dans des espaces restreints.
4. Contrôle :Ils offrent un contrôle précis du processus de pompage et du niveau de vide, permettant des conditions de vide personnalisées.
Cependant, il convient de noter que les pompes à vide électroniques peuvent être plus coûteuses et nécessiter une expertise spécialisée pour leur maintenance et leur fonctionnement. Elles ont également tendance à avoir des vitesses de pompage inférieures à celles des pompes mécaniques.
En résumé, une pompe à vide électronique utilise des moyens électroniques, tels que des faisceaux d'électrons ou des pièges à ions, pour créer un vide en éliminant sélectivement les particules de gaz ou les ions d'une chambre, offrant ainsi des conditions de vide propres, sans huile et contrôlées pour divers usages scientifiques et industriels. candidatures.
